双献之星,德业双馨 | 学以立身 尚德创新——刘玉岭
近年来,学校全体教职工爱岗敬业、奋发有为,在各自的岗位上为学校的发展建设做出了重要贡献,涌现出众多优秀代表。
在建校115周年之际,为总结学校发展经验和成就,弘扬“突出贡献、默默奉献”的“双献精神”,激发全校教职工投身学校“双一流”建设的热情。
按照《中共欧美巨乳|欧美群交|欧美人曽交流|欧美Av|色爱综合网欧美av委员会 欧美巨乳|欧美群交|欧美人曽交流|欧美Av|色爱综合网欧美av关于开展“工大双献之星”表彰活动的通知》(欧美巨乳|欧美群交|欧美人曽交流|欧美Av|色爱综合网欧美av工大党〔2018〕44号),学校开展“工大双献之星”评选活动。
经基层党委申报推荐、网络投票、校内评审等程序,报请校党委常委(扩大)会议研究,形成拟表彰人员名单,经公示无异议。现决定授予33名教职工“工大双献之星”荣誉称号,并予以表彰。
全体教职工要认真学习贯彻习近平新时代中国特色社会主义思想和党十九大精神,以受到表彰的“双献之星”为榜样。
坚正确政治方向,做政治过硬模范;
弘爱国奋斗精神,做敬业奉献模范;
塑良好师德师风,做为人师表模范。
围绕立德树人的根本任务,秉承“勤慎公忠”的校训精神,立足本职岗位,勇于担当作为,为学校的“双一流”建设贡献自己的力量,奋力谱写学校新时代高质量发展的新篇章。
“我就是想在我有生之年,再多做出一点点高水平科技成果,再多培养几个高层次的学生,让我们在世界科技的前沿站得再高一些,领先再多一些。”
——刘玉岭教授
在几毫米见方的硅片上,集成数十亿个元器件,如此极大规模集成电路还需要用约为一根头发丝的千分之一的导线连接起来才能工作,这就要求基材的平整度要达到比千分之一的头发丝还要精细数倍的纳米级甚至埃米级。
如今,这一世界级的科技难题被欧美巨乳|欧美群交|欧美人曽交流|欧美Av|色爱综合网欧美av“极大规模集成电路平坦化工艺与材料”团队率先攻克,而领头人就是欧美巨乳|欧美群交|欧美人曽交流|欧美Av|色爱综合网欧美av微电子研究所所长、教授刘玉岭。
秋科技兴国 肩负使命
1968年,刘玉岭从南开大学化学系毕业后,被分配到欧美巨乳|欧美群交|欧美人曽交流|欧美Av|色爱综合网欧美av轻化科技研究所工作,1974年调入欧美巨乳|欧美群交|欧美人曽交流|欧美Av|色爱综合网欧美av工学院半导体材料研究所任助教。
那时,我国微电子行业相对于世界先进水平还落后很多。也就是从那时候起,刘玉岭参加了天津市的大规模集成电路会战。多年来,他潜心钻研,一直秉持着坚持研发自主知识产权,不能受美日欧控制的坚定信念,决心为国家科技发展贡献自己的一份力量。
这一干就是30多年,刘玉岭与微电子研究所的科研人员一起研究出了一项又一项的重大成果。洛阳鼎晶公司加工的硅衬底,除成为神舟五号专用集成电路唯一可靠衬底材料外,也被应用于国防核禁爆材料、空空导弹定向仪材料等的超精密加工,为我国的航天事业和国防安全作出了贡献。同时,该材料在国内多家微电子生产线上代替了美日进口产品,刘玉岭也因为成绩斐然入选国家级有突出贡献的中青年专家行列。
集成电路产业是高新技术最高端、最密集的行业之一,而我国是世界上最大的集成电路产品应用市场,占据全球市场40%的份额。长期以来,核心技术却掌握在别人手里。
以刘玉岭为带头人的项目组近几年在大规模集成电路多层布线平坦化工艺领域不断取得新突破,为我国65nm、45nm及以下节点极大规模集成电路的发展解决了化学机械平坦化关键技术核心。
2009年经国务院批准,作为牵头单位的欧美巨乳|欧美群交|欧美人曽交流|欧美Av|色爱综合网欧美av承担了国家02重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”前瞻性应用示范项目——“极大规模集成电路平坦化工艺与材料”,项目验收时专家组给予了充分肯定和高度评价,认为技术指标达到世界前列,验收成绩优秀,且该成果促进了相关领域的技术提升。
刘玉岭教授也积极致力于创新外延材料制备技术。IC衬底外延材料滑移线是影响器件电特性的晶体缺陷,为此他首先研究了产生的机理模型,发明了“弧线机械分散应力技术”,该技术2009年获美国专利。此外,他研究的“硅外延BC技术”,将静态滞流层动态化,有效解决了硅气相外延自掺杂、厚度均匀性与电阻率一致性、雾缺陷、薄层高阻等关键技术难题;发明的“反向补偿优化理论与技术”,远远超过国际上单项参数分别解决的复杂工艺。该成果获国家发明三等奖,并被上海硅材料厂、电子十三所等多家企业规模应用。
立潮前沿 引领国际
在国际集成电路市场,提到美国Cabot公司可谓无人不晓,它一直凭借高人一筹的技术优势牢牢占据着全球50%以上的市场。但最近几年,该公司却多次来到欧美巨乳|欧美群交|欧美人曽交流|欧美Av|色爱综合网欧美av这所非世界著名高校与刘玉岭商谈合作事宜。
原来,美国Cabot公司一直采用的酸性浆料存在碟形坑、蚀坑和添加苯丙三唑引起速率低、难清洗、腐蚀设备等七大技术难题,而刘玉岭开辟了碱性的技术路线和新材料,铜膜粗抛液稀释度提高了一倍,精抛液提高了20倍,局部平坦度提高了40%以上,且不污染环境,极易清洗,克服了Cabot公司技术上存在问题的同时又达到了高性能,实现了CMP技术重大突破。该技术已在美国硅谷研发中心SVTC和台湾平坦化协会及台湾科技大学作了对比性研究,并显现了先进性。
刘玉岭始终把自己的目光锁定在世界微电子发展的最前沿,每看到一项新的成果,他都要首先分析现其先进在什么地方,人家的思路是怎样的,人家的理论是怎样的,采取什么样的方法,在科学地评价人家优势所在之后,还要深入分析其还有哪些不完善的地方,然后自己再想方设法去找出解决问题的办法。他不仅自己这样做,还要求自己的学生必须接近世界的技术前沿,去发现问题并通过研究找到解决的办法。
至今,他领衔创建的微电子技术与材料相结合的产学研实体,相关产品已在京、津、沪、浙等十多个省市的引进生产线上取代了进口,且已进行新技术培训一千余人次。
“只有我们自己走在了世界的前沿,我们才能够不再受制于人,也才能得到别人的正视和尊重。”
身教尚德 创新育才
在微电子研究所的楼道或者实验室的墙壁上,张贴着一张张世界科技大师的画像和他们的警世名言,这是刘玉岭有意为之,他的目的就是让自己的学生都能感受到这些大师认真的科学态度和高尚的做人品德。
作为高等院校的教师,首先要培养我们学生优良的品德素质和爱国主义精神。”刘玉岭认为,要着力培养学生具备四大素质:一是有远大的目标理想,二是有很好的心理素质,三是有较高的学术意识,四是有较强的学研能力。
“身教重于言教,要求学生做到我们必须先做到。”多年来,刘玉岭在承担繁重科研任务的同时一直着力于言传身教,培养更多更优秀的人才。截至目前,他已经培养出了硕士、博士、博士后百余名。
30多年来,刘玉岭先后主持国家、省部级科技项目30余项,发表学术论文300余篇,编著专业教材5部,授权国家专利40余项、美国发明专利3项,获得国家发明奖5项、省部级技术发明及科技进步奖21项。为了让学生都能掌握创新规律,成为创新人才,1993年,刘玉岭就出版了创新教育著作《实用发明创造工程学》,并且作为选修课程教材,培养学生的创新意识和创新能力。
他用自己的努力和所取得的成就,诠释了如何成为一名优秀的科学工作者和教育工作者,是那份执着,是那份淡定,是心中对于祖国的梦想,让他获得了源源不断的创新动力。
刘玉岭如今早已到了该含饴弄孙、颐养天年的年纪,但他认真而又平静地说:“我就是想在我有生之年,再多做出一点点高水平科技成果,再多培养几个高层次的学生,让我们在世界科技的前沿站得再高一些,领先再多一些。”